关于国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 》征求意见的通知

上传日期：2018年5月24日

   国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》（项目编号：计划编号20162348-T-604），已完成征求意见稿编制，按照国家标准制修订程序有关规定，现面向全社会公开征集意见，欢迎相关单位和专家提出宝贵意见。

   请于2018年7月24日前将《意见反馈表》发回（电子邮件或邮寄）至全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分标准化技术委员会（SAC/TC159/SC5）秘书处。     

   秘书处联系方式：

      联系地址：北京西城德胜门外教场口1号，1号楼310室 100120

      单位名称：北京机械工业自动化研究所有限公司

      联系人：高雪芹、王海丹

      联系电话：010-82285795、010-82285773

      E-mail: gaoxq@riamb.ac.cn、  wanghd@riamb.ac.cn